長晶爐

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感應加熱長晶爐裝置主要由感應加熱設備,坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置、區熔裝置、定向凝固裝置、真空裝置、保護氣氛裝置、測溫裝置、支架及操作臺裝置與可視化控制系統組成。


適應于碳化硅、藍寶石、激光晶體等各種晶體的長晶工藝。

坩堝類型可適應:石墨坩堝、依金坩堝、鎢鉬坩堝、鉑金坩堝等。


感應加熱長晶爐特點:

1、無易損件,運行成本低。

2、起爐快,熱慣性小,系統響應速度高。

3、直接加熱坩堝,功率密度大,更易達到高溫

4、采用高精度感應加熱設備,功率控制精度高,可實現高精度溫度控制。

5、感應加熱與坩堝之間沒有電連接點,保溫條件好,溫場均勻,使用壽命長。



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